Quins indicadors s'han de provar abans d'enviar les hòsties de silici monocristal·lí?

Jul 05, 2024Deixa un missatge

Prenem com a exemple una hòstia de silici monocristal·lí de 4-polzades:

news-622-757

Com es mostra més amunt:

 

Orientació: <100>indica l'orientació cristal·logràfica de la hòstia de silici. Aquesta orientació té un impacte important en les propietats electròniques i el procés de fabricació dels dispositius de l'hòstia.

Tipus:P (bor) amb un pla primari significa que la hòstia és de silici de tipus P, és a dir, està dopada amb bor per crear forats en excés. "un pla primari" es refereix a la forma de la vora de l'hòstia, que ajuda a identificar la direcció de la xarxa cristal·lina.

Resistència:1-10 Ohm-cm és la resistivitat de l'hòstia.

Grau:Prime / CZ Virgin indica la qualitat i puresa de l'hòstia de silici. "Prime" és el grau més alt i s'utilitza per a aplicacions d'alta precisió; "CZ" es refereix a hòsties de silici d'un sol cristall produïdes pel mètode CZ.

Revestiment:Cap, l'òxid natiu només significa que no hi ha cap capa de pel·lícula addicional a la superfície de l'hòstia, només una capa de diòxid de silici formada de manera natural.

Gruix:525 µm (+/- 20 µm) és el gruix de l'hòstia i l'error es controla en més o menys 20 micres. La uniformitat del gruix és fonamental per als passos de processament posteriors.

Diàmetre:100 mm especifica el diàmetre de l'hòstia.

Deformació:<=30µm, the lower the warp, the better the wafer quality.

Inclinació: <=30µm, similar to warping, it is also a measure of wafer flatness.

Vora de posicionament principal:32.5 +/- 2.5 mm indica la longitud de la vora de posicionament principal de l'hòstia, que s'utilitza per localitzar la direcció de l'hòstia. Algunes hòsties també tenen vores de posicionament secundàries, com es mostra a continuació:

news-220-220

Rugositat superficial:0.2 - 0.3nm, polit per un costat significa que la hòstia de silici és una hòstia de silici polida únicament i la unitat de rugositat superficial són nanòmetres.