Substrat d'hòsties de silici

Substrat d'hòsties de silici

Els substrats d'hòsties de silici són una part vital de la fabricació de circuits i dispositius integrats de semiconductors. En el seu nucli, simplement proporcionen una base sòlida - literalment un substrat - sobre el qual es poden construir circuits microelectrònics mitjançant passos complicats de fotolitografia i fabricació.
Enviar la consulta
Xateja ara
Descripció
Paràmetres tècnics

Ningbo Sibranch Microelectronics Technology Co., Ltd.:El vostre fabricant d'hòsties de silici de 300 mm de confiança!

 

 

Fundada el 2006 per un científic de ciències i enginyeria de materials a Ningbo, Xina, Sibranch Microelectronics té com a objectiu proporcionar hòsties i serveis de semiconductors a tot el món. Els nostres productes principals inclouen hòsties de silici estàndard SSP (polit d'un sol costat), DSP (polit de doble cara), hòsties de silici de prova i hòsties de silici prime, hòsties de silici SOI (silicon on Insulator) i hòsties de rotlle de monedes amb un diàmetre de fins a 12 polzades, CZ/MCZ/FZ/NTD, gairebé qualsevol orientació, tall fora, alt i baix resistivitat, molt gruixuda, alta i baixa resistivitat. hòsties, etc.

 

Servei líder

Ens comprometem a innovar constantment els nostres productes per oferir als clients estrangers un gran nombre de productes d'alta-qualitat per superar la satisfacció del client. També podem oferir serveis personalitzats segons els requisits dels clients, com ara la mida, el color, l'aparença, etc. Podem oferir el preu més favorable i els productes d'alta-qualitat.

 

Qualitat garantida

Hem estat investigant i innovant contínuament per satisfer les necessitats dels diferents clients. Al mateix temps, sempre ens adherim a un estricte control de qualitat per garantir que la qualitat de cada producte compleixi els estàndards internacionals.

 

Amplis països de vendes

Ens centrem en les vendes als mercats estrangers. Els nostres productes s'exporten a Europa, Amèrica, el sud-est asiàtic, Orient Mitjà i altres regions, i són ben rebuts per clients de tot el món.

 

Diversos Tipus de Productes

La nostra empresa ofereix serveis personalitzats de processament d'hòsties de silici adaptats a les necessitats específiques dels nostres clients. Aquests inclouen Si Wafer BackGrinding, Dicing, DownSizing, Edge Grinding, així com MEMS entre d'altres. Ens esforcem per oferir solucions a mida que superin les expectatives i garanteixin la satisfacció del client.

 

Tipus de producte

 

Hòstia de silici CZ

Les hòsties de silici CZ es tallen a partir de lingots de silici d'un sol cristall extrets mitjançant el mètode de creixement Czochralski CZ, que s'utilitza més a la indústria electrònica per fer créixer cristalls de silici a partir de grans lingots de silici cilíndrics utilitzats per fabricar dispositius semiconductors. En aquest procés, s'introdueix una llavor de silici cristal·lí allargada amb una tolerància d'orientació precisa en una piscina fosa de silici amb una temperatura controlada amb precisió. El cristall de llavors s'estira lentament cap amunt des de la fusió a una velocitat estrictament controlada, i la solidificació del cristall dels àtoms de la fase líquida es produeix a la interfície. Durant aquest procés d'estirament, el cristall de la llavor i el gresol giren en direccions oposades, formant un gran silici d'un sol cristall amb una estructura cristal·lina perfecta de la llavor.

Hòstia d'òxid de silici

La hòstia d'òxid de silici és un material avançat i essencial que s'utilitza en diverses indústries i aplicacions d'alta-tecnologia. És una substància cristal·lina d'alta-puresa produïda mitjançant el processament de materials de silici d'alta-qualitat, la qual cosa la converteix en un substrat ideal per a molts tipus diferents d'aplicacions electròniques i fotòniques.

Dummy Wafer (Coinroll)

Les hòsties simulades (també anomenades hòsties de prova) són hòsties que s'utilitzen principalment per a experiments i proves i són diferents de les hòsties generals per al producte. En conseqüència, les hòsties recuperades s'apliquen principalment com a hòsties simulades (hòsties de prova).

Hòstia de silici recoberta d'or

Les hòsties de silici recobertes d'or-i els xips de silici recoberts d'or-s'utilitzen àmpliament com a substrats per a la caracterització analítica dels materials. Per exemple, els materials dipositats sobre hòsties recobertes d'or-es poden analitzar mitjançant el·lipsometria, espectroscòpia Raman o espectroscòpia infraroja (IR) a causa de l'alta-reflectivitat i les propietats òptiques favorables de l'or.

Hòstia epitaxial de silici

Les hòsties epitaxials de silici són molt versàtils i es poden fabricar en una varietat de mides i gruixos per adaptar-se als diferents requisits de la indústria. També s'utilitzen en una varietat d'aplicacions, com ara circuits integrats, microprocessadors, sensors, electrònica de potència i fotovoltaica.

Òxid tèrmic sec i humit

Fabricat amb l'última tecnologia i està dissenyat per oferir una fiabilitat i consistència en el rendiment inigualables. Thermal Oxide Dry and Wet és una eina essencial per als fabricants de semiconductors a tot el món, ja que proporciona una manera eficient de produir hòsties d'alta-qualitat que compleixen tots els requisits exigents de la indústria.

Hòstia de silici de 300 mm

Aquesta hòstia té un diàmetre de 300 mil·límetres, la qual cosa la fa més gran que les mides tradicionals d'hòstia. Aquesta mida més gran fa que sigui més rendible i eficient en -cost, permetent una major producció sense sacrificar la qualitat.

Hòstia de silici de 100 mm

La hòstia de silici de 100 mm és un producte d'alta-qualitat que s'utilitza àmpliament a les indústries de l'electrònica i dels semiconductors. Aquesta hòstia està dissenyada per oferir un rendiment, precisió i fiabilitat òptims que són essencials en la fabricació de dispositius semiconductors.

Hòstia de silici de 200 mm

La hòstia de silici de 200 mm també és versàtil en les seves aplicacions, amb aplicacions en investigació i desenvolupament, així com en fabricació de grans-volums. Es pot personalitzar segons les vostres especificacions exactes, amb opcions per a hòsties primes o gruixudes, superfícies polides o sense polir i altres característiques en funció de les vostres necessitats específiques.

 

Què és el substrat d'hòsties de silici

 

 

Els substrats d'hòsties de silici són una part vital de la fabricació de circuits i dispositius integrats de semiconductors. En el seu nucli, simplement proporcionen una base sòlida - literalment un substrat - sobre el qual es poden construir circuits microelectrònics mitjançant passos complicats de fotolitografia i fabricació. Tanmateix, els substrats de silici tenen un impacte molt més que donar als circuits integrats una superfície plana per construir-hi. Les propietats cristal·lines i electròniques de la pròpia hòstia del substrat són crucials per determinar les capacitats de rendiment màxim dels dispositius fabricats a la part superior. Factors com l'orientació del cristall, la puresa química, la densitat del defecte de la gelosia i les característiques de resistivitat elèctrica s'han de controlar i optimitzar de manera estricta durant la fabricació del substrat.

 

Propietats del substrat d'hòsties de silici

 

 

Resistivitat
Com s'ha esmentat abans, la resistivitat indica quant l'hòstia impedeix el flux d'electrons. La majoria dels dispositius requereixen substrats amb rangs de resistivitat precisos. Això s'aconsegueix dopant el silici amb impureses - més comunament bor (per al tipus p-) o fòsfor (per al tipus n-).

 

Resistències típiques del substrat de les hòsties de silici:
1-30 Ω-cm - baixa resistivitat, utilitzat per a la lògica CMOS
30-100 Ω-cm - substrats epitaxials
1000 Ω-cm - alta resistivitat, utilitzat per a dispositius de RF

 

Planitud/Suavitat
La planitud de la superfície mesura com de plana és la superfície del substrat, mentre que la suavitat indica la rugositat. Tots dos són importants per a un model de fotolitografia net i per garantir que els dispositius es construeixin correctament. La planitud es quantifica mitjançant una mesura anomenada Variació de gruix total (TTV). Els bons plans tenen un TTV < 10 μm a través de l'hòstia. La suavitat o la rugositat es mesura mitjançant la rugositat RMS (Root Mean Squared). Els substrats de gamma alta tenen una rugositat RMS <0,5 nm.

 

Fabricació de substrat d'hòsties de silici

La producció de substrats d'hòsties de silici d'alta qualitat és un repte tècnic immens que requereix tècniques de fabricació avançades. Aquí teniu una visió general ràpida:

 

Creixement del lingot
Tot comença fent créixer lingots de cristall simple-grans mitjançant el mètode Czochralski. En aquest procés, trossos de polisilici ultrapur es carreguen en un gresol de quars i es fonen. Es baixa una petita "llavor" d'un sol cristall fins que només toca la superfície fosa, i després es retira lentament cap amunt. A mesura que s'aixeca el cristall de llavors, el silici líquid s'hi solidifica, permetent que es creixi un gran cristall únic.

Els àtoms d'impuresa s'afegeixen amb cura per dopar el lingot a la resistivitat especificada. Els dopants comuns són el bor i el fòsfor. La refrigeració es controla amb precisió per garantir el creixement dels cristalls sense defectes.

 

Tallar
El gran lingot d'un sol cristall es talla en hòsties individuals mitjançant serres de diàmetre intern. Les fulles incrustades de diamant tallen contínuament rodanxes molt fines de tot el lingot simultàniament. El fluid de refrigeració s'utilitza per minimitzar els danys per fricció i escalfament.

El tall ha de ser molt precís per garantir un gruix i una planitud uniformes de l'hòstia. El gruix de l'objectiu és d'uns 0,7 mm.

 

Llapeig
Després de tallar, les hòsties tenen superfícies moderadament rugoses. S'utilitza un procés de lligat abrasiu per aplanar-los. Això implica forçar cada superfície de l'hòstia contra una placa de lligadura de ferro colat coberta amb un purín abrasiu. La placa gira mentre s'aplica una pressió controlada amb precisió des de la superfície de l'hòstia.

El lligat elimina el material de manera uniforme de la superfície mentre aplana qualsevol protuberància o crestes que queden del tall. Això ajuda a millorar la planitud general de l'hòstia.

 

Gravat
El lligat pot provocar danys a la superfície fins a 10-15 μm de profunditat. Això s'elimina gravant la superfície amb mescles de productes químics àcids o alcalins. El gravat dissol el silici a un ritme controlat per eliminar els danys de la lligadura, deixant una superfície neta i sense danys per al poliment final.

 

Polit
L'últim pas és produir una superfície ultrasua i lliure de danys- mitjançant un procés de polit. Això fa servir una mecànica similar a la del lligat, però amb una pasta de poliment de sílice col·loidal alcalina en lloc d'abrasius. El pas de polit elimina els danys subsuperficials dels passos anteriors.

El poliment continua fins que s'assoleix l'especificació de rugositat RMS de la superfície desitjada. Es poden necessitar molts cicles de polit de precisió per aconseguir una rugositat d'angstrom d'un dígit.

 

 
Què cal saber quan s'utilitza substrat d'hòsties de silici
 
Estrès excessiu i fracàs

L'excés de tensió i pressió de les operacions de traçat, unió de filferro, matrius de separació i embalatge poden fer que una hòstia de silici es torni trencadissa o esquerdada. Aquest tipus de fallada o dany pot afectar la durabilitat de l'hòstia i pot fer-la inútil.

 
Diferències d'expansió tèrmica

L'expansió tèrmica es refereix a la tendència de la matèria a expandir-se o canviar el seu volum, forma o àrea a causa del canvi de temperatura. Per tant, quan un substrat està sotmès a una calor més enllà del que és capaç de suportar, pot provocar esquerdes o trencaments.

 

 

Defectes cristal·logràfics

Els defectes cristal·logràfics existents, com les dislocacions, els precipitats d'oxigen i les falles d'apilament, tant a l'hòstia de silici com a la capa epitaxial, poden comprometre la qualitat de l'hòstia i provocar defectes. Aquests defectes poden provocar que flueixin corrents de fuga importants i anormals o que creïn canonades de baixa-resistència, que poden curt-les unions.

 
Efectes de difusió i implantació d'ions

Els efectes de difusió i implantació d'ions com diferents fenòmens de difusió anòmals relacionats amb combinacions específiques de defectes de cristalls o dopants i reaccions de precipitats de metalls contaminants poden afectar la qualitat de l'hòstia i fallar.

 

 

 
Coses a tenir en compte a l'hora de manipular i emmagatzemar els substrats d'hòsties de silici

 

 

Entorn de sala blanca controlada: manteniment de condicions òptimes
En la fabricació de semiconductors, els entorns de sales blanques es controlen meticulosament per minimitzar els riscos de contaminació i garantir la màxima qualitat dels substrats d'hòsties de silici. Aquests entorns solen complir estrictes estàndards de neteja, com ara les sales netes ISO Classe 1 o Classe 10, on el nombre de partícules en l'aire es controla meticulosament per metre cúbic d'aire. Les sales blanques disposen de sistemes de filtració especialitzats que eliminen contínuament les partícules de l'aire per mantenir les condicions òptimes. Els filtres d'aire de partícules d'alta-eficiència (HEPA) i els filtres d'aire de partícules ultra-baixes (ULPA) capturen partícules tan petites com 0,3 micres i 0,12 micres, respectivament.

 
 

Mitigació dels riscos de descàrregues electrostàtiques: protecció contra danys
La descàrrega electrostàtica suposa una amenaça important per als substrats de les hòsties de silici durant la manipulació i l'emmagatzematge. Les instal·lacions de semiconductors implementen mesures de control estàtica com ara corretges de connexió a terra, bufadors d'aire ionitzant i sòls conductors per dissipar les càrregues estàtiques i evitar danys a les hòsties. El personal fa servir corretges de terra per descarregar de manera segura l'electricitat estàtica del seu cos, mentre que els bufadors d'aire ionitzant neutralitzen les càrregues estàtiques a les superfícies. Els materials conductors del sòl permeten que les càrregues estàtiques es dissipen sense perill al terra, reduint el risc d'esdeveniments de descàrregues electrostàtiques.

 
 

Solucions d'embalatge protector: salvaguarda contra els danys
L'embalatge adequat és vital per protegir els substrats de les hòsties de silici dels danys físics, la contaminació i la humitat durant el trànsit i l'emmagatzematge. Les instal·lacions de semiconductors utilitzen diverses solucions d'embalatge de protecció per salvaguardar les hòsties i mantenir la seva integritat al llarg de la cadena de subministrament. Una solució d'envasament habitual és l'envasament-segellat al buit, on les hòsties de silici es col·loquen en una bossa o contenidor segellats i se segellen- al buit per eliminar l'aire i crear una barrera protectora contra els contaminants i la humitat. Sovint s'inclouen paquets dessecants a l'envàs per absorbir la humitat residual i mantenir un ambient sec.

 
 

Adhesió als protocols de manipulació: precisió i cura
L'adhesió estricta als protocols de manipulació és essencial per minimitzar els riscos durant la fabricació i el muntatge de les hòsties. Les instal·lacions de semiconductors desenvolupen procediments i protocols de manipulació detallats que descriuen les millors pràctiques per transportar, manipular i processar de manera segura les hòsties de silici. Aquests protocols de manipulació normalment cobreixen una àmplia gamma d'activitats, com ara la càrrega i descàrrega d'hòsties, la inspecció d'hòsties, el processament químic i la manipulació mecànica. Proporcionen instruccions pas a pas--per a cada tasca, especificant l'equip que s'utilitzarà, les tècniques adequades que cal seguir i les precaucions de seguretat que s'han d'observar.

 
 

Sistemes de seguiment i traçabilitat: assegurant la responsabilitat i la traçabilitat
Els sistemes robusts d'identificació i seguiment proporcionen responsabilitat i traçabilitat durant tot el procés de fabricació de semiconductors. Aquests sistemes assignen un identificador únic a cada substrat d'hòsties de silici, que conté informació sobre el seu origen, historial de processament i resultats de la inspecció de qualitat. Un mètode comú d'identificació d'hòsties és l'ús de codis de barres o etiquetes d'identificació per radio-freqüència (RFID), aplicades a les hòsties en diferents etapes de fabricació. Aquests identificadors s'escanegen i s'enregistren a cada pas del procés de producció, la qual cosa permet a les instal·lacions de semiconductors fer un seguiment del moviment i l'estat de les hòsties en-temps real.

 
 

Condicions òptimes d'emmagatzematge: preservació de la qualitat al llarg del temps
Les condicions d'emmagatzematge adequades són crítiques per mantenir la qualitat i la integritat dels substrats d'hòsties de silici durant tot el procés de fabricació de semiconductors. Les instal·lacions de semiconductors mantenen àrees d'emmagatzematge dedicades dins d'entorns de sales netes, equipades amb armaris i bastidors amb control de clima-per preservar les hòsties en condicions òptimes. El control de la temperatura i la humitat són essencials per evitar la degradació i garantir l'estabilitat de les hòsties de silici durant l'emmagatzematge. Les instal·lacions de semiconductors solen mantenir temperatures d'emmagatzematge entre 18 i 22 graus i nivells d'humitat entre el 40% i el 60% per minimitzar el risc de danys i contaminació relacionats amb la humitat-.

 
 
Preguntes freqüents
 

P: Quin gruix té un substrat d'hòstia de silici?

R: En general, les hòsties de Si tenen un gruix entre 0,5 mm i 400 micres (0,4 mm). Es poden necessitar hòsties fines d'entre 2 i 25 micres de gruix per a alguns propòsits científics.

P: Quina diferència hi ha entre una hòstia i un substrat?

R: Una hòstia és una llesca fina i rodona de material, generalment feta de silici, que serveix com a plataforma per a la fabricació de dispositius electrònics. Un substrat és un material que serveix de base per a la deposició d'un altre material, com ara una pel·lícula fina o un material semiconductor.

P: Per què s'utilitza el silici com a substrat?

R: El substrat de silici és un material d'ús habitual en circuits integrats a causa de la seva excel·lent conductivitat tèrmica, que millora el rendiment global dels circuits ressonants.

P: Quina diferència hi ha entre el substrat de vidre i el substrat de silici?

R: Les hòsties de suport de vidre s'utilitzen en diverses aplicacions, com ara MEMS, semiconductors i molt més. En comparació amb el silici, els suports de substrat de vidre són més plans, més rígids i proporcionen una estabilitat tèrmica superior perquè les hòsties del dispositiu es puguin manipular amb seguretat.

P: Quina és la duresa del substrat de l'hòstia de silici?

R: Té una duresa Mohs de 7. A més, la seva composició química i la seva superfície són molt semblants al diamant. Això vol dir que és probable que un semiconductor fet de silici sigui molt dur.

P: Quins són els avantatges del substrat d'hòsties de silici?

R: El silici monocristal·lí és un material de substrat preferible en dispositius MEMS per les següents raons: la seva alta estabilitat mecànica, la facilitat d'integració de dispositius electrònics al substrat de Si, el seu mòdul de Young és similar al de l'acer (uns 200 GPa) i és tan lleuger com l'alumini, el seu punt de fusió és molt alt.

P: Com es dopen les hòsties de silici?

R: El silici dopat és el material utilitzat per fer hòsties de forma irregular. Per crear aquestes hòsties, es recobreix una hòstia de silici amb una fina capa d'òxid d'alumini a la part superior i un òxid a sota. Si es col·loca una petita quantitat de silici en un ambient ric-oxigen i després s'escalfa durant uns 5 minuts a 900 graus.

P: Quina és la resistència del substrat de l'hòstia de silici?

R: Els substrats de silici d'alta{0}}resistència (HRS) són importants per a dispositius de microones i ones mil·límetres de baixa-pèrdua i alt- rendiment en sistemes de telecomunicacions d'alta-freqüència. La resistivitat més alta de fins a ~ 10.000 ohms.cm és el Si cultivat a la zona flotant (FZ) que es produeix en petites quantitats i un diàmetre d'hòstia moderat.

P: Quina diferència hi ha entre el substrat de silici i de germani?

R: El germani presenta una major sensibilitat a la temperatura en les seves propietats elèctriques en comparació amb el silici. Aquesta qualitat es pot aprofitar per a determinades aplicacions de detecció, però també significa que el silici és generalment més estable en diferents condicions ambientals.

P: Quina és la conductivitat tèrmica del substrat de l'hòstia de silici?

R: La conductivitat del silici és de 156 W m -1 K -1. La conductivitat tèrmica és una de les propietats clau dels semiconductors. És important dissenyar les propietats tèrmiques d'un IC de manera que es minimitzi l'estrès. Durant el funcionament, els xips de silici produeixen molta calor.

P: Quina és la rugositat superficial del substrat de l'hòstia de silici?

R: La rugositat de la superfície de l'hòstia de Si està garantida per la repetició del procés de polit de planarització química-mecànica- (CMP), no per cap mesura, que seria destructiu. Per al costat polit de les hòsties, el valor de rugositat normal és<0.5nm.

P: Quina és la funció del substrat en un semiconductor?

R: Els substrats, sovint coneguts com la base dels dispositius electrònics, són materials o estructures sobre els quals es construeixen components electrònics. Proporcionen suport estructural, faciliten la connectivitat elèctrica i serveixen com a llenç per als complexos circuits que alimenten el nostre món modern.

P: El substrat de l'hòstia de silici és conductor?

R: El substrat de silici és un material d'ús habitual en circuits integrats a causa de la seva excel·lent conductivitat tèrmica, que millora el rendiment global dels circuits ressonants.

P: Per què el silici és un material de substrat ideal?

R: El silici monocristal·lí és un material de substrat preferible en dispositius MEMS per les següents raons: la seva alta estabilitat mecànica, la facilitat d'integració de dispositius electrònics al substrat de Si, el seu mòdul de Young és similar al de l'acer (uns 200 GPa) i és tan lleuger com l'alumini, el seu punt de fusió és molt alt.
Per què escollir-nos

 

Els nostres productes provenen exclusivament dels cinc principals fabricants del món i de les principals fàbriques nacionals. Amb el suport d'equips tècnics nacionals i internacionals altament qualificats i mesures de control de qualitat estrictes.

El nostre objectiu és oferir als clients un suport integral i individual, garantint canals de comunicació fluids, professionals, oportuns i eficients. Oferim una quantitat mínima de comanda baixa i garantim un lliurament ràpid en 24 hores.

 

Mostra de fàbrica

 

El nostre ampli inventari consta de 1000+ productes, cosa que garanteix que els clients puguin fer comandes per tan sols una peça. Els nostres equips propis per tallar daus i esmolar, i la cooperació total en la cadena industrial global ens permeten un enviament ràpid per garantir la satisfacció i comoditat del client.

01
02
03

 

El nostre certificat

 

La nostra empresa s'enorgulleix de les diferents certificacions que hem obtingut, com ara el nostre certificat de patent, el certificat ISO9001 i el certificat d'empresa nacional d'alta tecnologia. Aquestes certificacions representen la nostra dedicació a la innovació, la gestió de la qualitat i el compromís amb l'excel·lència.

01
02
03
04
05
06
07
08
09
10
11
12
13
14

 

Etiquetes populars: substrat d'hòsties de silici, fabricants de substrats d'hòsties de silici de la Xina, proveïdors, fàbrica