Quina és la uniformitat de la deposició de pel·lícula fina?
La uniformitat de la pel·lícula prima es refereix a la consistència de la distribució del gruix de la pel·lícula prima a tota la hòstia. Una bona uniformitat significa que el gruix de la pel·lícula fina és molt proper a cada posició de l'hòstia.
Quins són els tipus d'uniformitat de pel·lícula fina?
En general, es consideren els següents tipus:
●Uniformitat dins de l'hòstia: Uniformitat dins d'una sola hòstia.
●Uniformitat d'hòstia a hòstia: Uniformitat entre diferents hòsties.
●Uniformitat de lot a lot: Uniformitat entre diferents lots d'hòsties.
Com es calcula la uniformitat?
Prenent com a exemple la uniformitat de l'hòstia, la seva desviació estàndard es calcula mitjançant la fórmula:
Aquesta fórmula calcula l'arrel quadrada de la mitjana de les diferències al quadrat entre cada punt de dades i la mitjana de les dades.
σ (desviació estàndard): Representa el grau de dispersió de les dades; com més gran és la desviació estàndard, més gran és la dispersió.
N: el nombre total de punts de dades mesurats.
ti: el valor de gruix del punt de dades i-è.
Significar: el valor mitjà de tots els punts de dades.
(ti−Mitjana)^2: La diferència al quadrat entre cada punt de dades i la mitjana.
∑: sumatoria.
La fórmula és una mica difícil d'entendre, així que aquí teniu un exemple:
Suposem que tenim un conjunt de punts de dades de gruix de pel·lícula prima: 55,1, 54,8, 55,3, 54,9, 55.0, 54,7, 55,2, 54,9, 55,1, 54,8.
●Primer, calculeu la mitjana d'aquests 10 punts: Mitjana=54,98.
●A continuació, calculeu la diferència al quadrat entre cada gruix i la mitjana: {{0}}.0144, 0.0324, {{1{{12} }}},1024, 0.0004, 0,0004, 0,0784, 0,0484, 0,0004, 0,0144, 0,0324.
●Suma aquestes diferències al quadrat i troba la mitjana: (0.0144 + 0.0324 + 0.1024 + 0.0004 + 0.0004 + 0.{{6} }.0484 + 0.0004 + 0.0144 + 0.0324)=0.3996.
●Finalment, calculeu la desviació estàndard: σ=0,193.