Què és una osca d'hòstia?
Una osca és una petita ranura tallada directament a sota d'una hòstia de silici, generalment en forma de V o U. Notch té dues funcions. Un és marcar l'orientació del cristall de la hòstia de silici, com ara<100>, <110>, <111>, etc. L'altra funció és permetre que la hòstia de silici estigui correctament posicionada i alineada en equips de fabricació de semiconductors. En general, les osques es troben en hòsties de 8-polzades i 12-polzades.
Com és Notch?
La mida de l'osca ha de complir estrictament els estàndards SEMI, tal com es mostra a la figura anterior:
1. Vw representa l'amplada total de l'osca, i la seva mida està relacionada amb el diàmetre i el gruix de l'hòstia de silici.
2. Vh és la profunditat de l'osca, que indica la distància vertical des de la vora de l'hòstia de silici fins a la part inferior de la ranura. Generalment oscil·la entre 1,0 i 1,25 mm. Vh és crucial per garantir la precisió d'alineació de l'osca.
3. AngV, és a dir, Notch Angle. AngV és l'angle de l'osca, que és l'angle entre les vores de la ranura a ambdós costats. Generalment està entre 89 graus i 95 graus. Aquest angle juga un paper decisiu en la geometria i el posicionament de l'osca.
4. R1 i R2 representen els radis de les cantonades a banda i banda de l'osca. Aquests dos radis determinen la suavitat de les cantonades de la ranura, afecten la concentració de tensió de l'osca i afecten les propietats mecàniques de l'hòstia de silici.
5. Vr és el radi de curvatura a la part inferior de l'osca, que indica la mida de l'arc a la part inferior de la ranura. Vr pot canviar la forma de la corba i la suavitat de l'osca. Un Vr més gran pot fer que la part inferior de l'osca sigui més plana, cosa que ajuda a reduir la concentració d'estrès.
6. Orientació de l'osca: la direcció de la ranura és paral·lela a l'orientació específica del cristall de l'hòstia, i es permet una desviació de ±2 graus.
