Descriu breument els quatre mètodes principals d'aprimament de les hòsties

Les quatre tècniques d'aprimament per a l'aprimament d'hòsties consten de dos grups: mòlta i gravat.
(1) Mòlta mecànica
(2) Planarització química mecànica
(3) Gravat humit
(4) Gravat químic sec per plasma (ADP DCE)
La mòlta utilitza una combinació de moles i aigua o purins químics per reaccionar i aprimar l'hòstia, mentre que el gravat utilitza productes químics per aprimar el substrat.
Mòlta:
◆ Mòlta mecànica
Mòlta mecànica (convencional): aquest procés té una alta taxa d'aprimament, el que la converteix en una tècnica molt comuna. Utilitza una mola de diamant i unió de resina muntada en un eix d'alta velocitat, similar a les que s'utilitzen en aplicacions de recobriment de centrifugació. La recepta de mòlta determina la velocitat de l'eix així com la taxa d'eliminació de material.
Per preparar-se per a la mòlta mecànica, l'hòstia es col·loca sobre un mandril de ceràmica porosa i es manté al seu lloc mitjançant el buit. La part posterior de l'hòstia es col·loca cap a la mola, mentre que la cinta abrasiva es col·loca a la part davantera de l'hòstia per evitar qualsevol dany a l'hòstia durant l'aprimament. Quan es ruixa aigua desionitzada a l'hòstia, els dos engranatges giren en direccions oposades per garantir una lubricació suficient entre la mola i el substrat. Això també controla la temperatura i la velocitat d'aprimament per assegurar-se que l'hòstia no quedi massa fina.
El procés és un procés de dos passos:
1. La mòlta gruixuda fa la major part del refinament a una velocitat de ~5μm/seg.
2. Mòlta fina amb gra de 1200 a 2000 i polimòlta. Normalment elimina ~30 µm de material a una velocitat inferior o igual a 1 µm/seg i proporciona un acabat final a l'hòstia.
El 1200-granulat té un acabat rugós amb marques de desgast notables, mentre que el 2000-gras és menys rugós, però encara té algunes marques de desgast. Poligrind és una eina de poliment que proporciona la màxima resistència a l'hòstia i elimina la majoria dels danys subterranis.
◆ Planarització química mecànica (CMP)
Planarització química mecànica (CMP): aquest procés aplana l'hòstia i elimina les irregularitats de la superfície. El CMP es realitza mitjançant lluents químics abrasius de partícules petites i pastilles de poliment. Proporciona més planarització que la mòlta mecànica.
CMP es divideix en tres passos:
1. Munteu l'hòstia sobre una membrana posterior, com ara un suport de cera, per mantenir-la al seu lloc.
2. Apliqueu el purí químic des de dalt i distribuïu-lo uniformement amb un coixinet de poliment.
3. Gireu el coixinet de poliment durant uns 60-90 segons per poliment, depenent de les especificacions finals de gruix.
CMP tritura a una velocitat més lenta que la mòlta mecànica, eliminant només unes poques micres. Això resulta en una planitud gairebé perfecta i un TTV controlable.
Gravat:
◆ Gravat humit
L'aiguafort utilitza productes químics líquids o gravadors per eliminar material de l'hòstia, la qual cosa és útil quan només s'han d'aprimar porcions de l'hòstia. En col·locar una màscara dura a l'hòstia abans del gravat, només es produeix un aprimament a la part del substrat on no hi ha substrat. Hi ha dos mètodes per dur a terme el gravat humit: isotròpic (uniforme en totes les direccions) i anisotròpic (uniforme en direcció vertical).
Els gravadors líquids varien segons el gruix desitjat i si es desitja un gravat isotròpic o anisotròpic. En el gravat isòtrop, el gravador més comú és una combinació d'àcid fluorhídric, àcid nítric i àcid acètic (HNA). Els gravadors anisotròpics més comuns són l'hidròxid de potassi (KOH), l'etilendiaminocatecol (EDP) i l'hidròxid de tetrametilamoni (TMAH). La majoria de les reaccions es produeixen a una velocitat de ~ 10 μm/min, i la velocitat de reacció pot variar en funció del gravador utilitzat en la reacció.
◆ Gravat en sec per plasma (ADP) (DCE)
ADP DCE és l'última tecnologia d'aprimament d'hòsties, similar al gravat humit. En lloc d'utilitzar líquids, el gravat químic sec utilitza plasma o gasos gravats per eliminar el material. Per dur a terme el procés d'aprimament, es pot disparar un feix de partícules altament cinètiques a l'hòstia objectiu, els productes químics reaccionen amb la superfície de l'hòstia o es combinen tots dos. La velocitat d'eliminació del gravat en sec és d'uns 20 μm/min i no hi ha estrès mecànic ni productes químics, de manera que aquest mètode pot produir hòsties molt primes amb alta qualitat.